内齿轮测量步骤如下：

1.将齿轮竖直放置于三坐标齿轮检测仪工作台上并固定。
2.建立工件坐标系，使齿轮的回转轴线为坐标系Z 轴，原点在圆心，保存此坐标系。（注意：Z轴向下为正，坐标系的名称可与程序中调出坐标系名称保持一致，否则要修改程序）

3.选取预先校正好的测针文件，使测针针位为（A90B-90）,若测头座是自动双旋转测头座，则必须将机器移动到安全位置即可。

4.打开内齿轮测量程序或从说明书中复制内齿轮测量程序到三坐标齿轮检测仪软件中并开始运行，在弹出的对话框中输入相应的齿轮参数，当窗 弹出“请在右齿面采点”的对话框时，将测针移动到工件坐标系XOZ坐标面附近，在齿轮中间截面齿槽内的右齿面沿Y轴方向采一个点之后，弹出“请在左齿面采点”，采完点后，程序开始自动运行，若是自动双旋转测头座，则可自动全部完成;若是手动测头座，则需在测量过程中根据提示框中提示来旋转测头座，采点结束后系统将测量数据自动保存在数据文件中。

采用三坐标齿轮检测仪 测量4级以上的内齿轮是齿轮生产厂家常用的齿轮测量方法之一。